激光共聚焦显微镜、扫描电镜和AFM原子力显微镜三者的区别介绍：三者都是点源逐点扫描成像，通过控制扫描驱动范围，调节放大倍数，主要区别：
①极限分辨率不同, 缘于放大信号源的差异激光共聚焦：极限分辨率 150nm.扫描电镜：20nm~0.8nm.原子力显微镜：极限分辨率0.1nm。
②扫描驱动方式不同激光共聚焦：激光转镜控制激光扫描范围和扫描速度。扫描电镜：电磁线圈控制电子束扫描范围和扫描速度，AFM原子力显微镜：压电位移传感器驱动样品台X,Y 方向扫描。
③立体成像的差别激光共聚焦：通过纳米精度步进电机驱动样品在Z轴方向逐层成像，软件将设定的各层图像合成清晰立体图像。扫描电镜：单帧图像具有很大景深，但属于二维图像，通过立体对技术可实现三维成像。原子力显微镜：成像的本质就是测量表面每个像素点的高低，描绘出立体形貌。
④工作环境差别激光共聚焦和afm原子力显微镜可以在大气环境中进行测试样品一般扫描电镜B须在高真空环境下进行测试样品。
⑤应用范围差别激光共聚焦：几倍 ~ 几千倍，样品制备简单扫描电镜 ：几倍~几十万倍，样品制备稍微复杂一些，但总体也很简单。原子力显微镜：几万倍~几千万倍， 要求样品非常平坦，样品制备很难。