原子力显微镜(平板扫描式) WY- LSCL-AFM

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◆性能特点:
实现探针和样品组合式移动扫描的商业化原子力显微镜。

采用三轴独立闭环压电平移式扫描台,实现大范围高精度扫描。

三轴独立式扫描,XYZ互不影响,非常适合三维材料及形貌检测。

电动控制样品移动台和升降台,可任意编程多点位置实现快速自动化检测。

龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式载物台。
马达自动控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品。
高倍辅助光学显微定位,实时观测与定位探针以及样品扫描区域。

闭环压电扫描台无需非线性校正,纳米表征和测量精度优于99.5%。


 ◆测量范围及应用:

测量范围:二维、三维、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。

应用:纳米材料、石墨烯、薄膜、钝化膜、短切玻纤复材、分子筛、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纤维膜丝、粗糙度测试、四氧化三铁、M13-PBA等。



◆ 应用案例 Application Case


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序号

名称

技术参数

01

工作模式

接触模式、轻敲模式

02

选配模式

摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力

03

力谱曲线

F-Z力曲线、RMS-Z曲线

04

XY扫描方式

样品驱动式扫描,闭环压电平移式扫描台

05

Z扫描方式

探针驱动式扫描

06

XY扫描范围

闭环100×100um

07

Z扫描范围

10um

08

扫描分辨率

闭环XY0.5nmZ0.05nm

09

XY样品台

步进电机驱动控制,移动精度1um

10

XY移动行程

100×100mm(可选200×200mm300×300mm

11

样品载物台

直径100mm(可选200mm300mm

12

样品重量

0.5Kg

13

Z升降台

步进电机驱动控制,很小步长10nm

14

Z升降行程

15mm(可选20mm25mm

15

光学定位

10X光学物镜

16

摄像头

500万像素数字CMOS

17

扫描速率

0.6Hz~30Hz

18

扫描角度

0~360°

19

运行环境

Windows XP/7/8/10操作系统

20

通信接口

USB2.0/3.0

21

仪器结构

龙门架式扫描头,大理石底座

22

减震方式

气浮式减震台+金属屏蔽隔音箱(可选主动式减震台)