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◆性能特点:
实现探针和样品组合式移动扫描的商业化原子力显微镜。
采用三轴独立闭环压电平移式扫描台,实现大范围高精度扫描。
三轴独立式扫描,XYZ互不影响,非常适合三维材料及形貌检测。
电动控制样品移动台和升降台,可任意编程多点位置实现快速自动化检测。
龙门架式扫描头设计,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式载物台。
马达自动控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品。
高倍辅助光学显微定位,实时观测与定位探针以及样品扫描区域。
闭环压电扫描台无需非线性校正,纳米表征和测量精度优于99.5%。
◆测量范围及应用:
测量范围:二维、三维、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
应用:纳米材料、石墨烯、薄膜、钝化膜、短切玻纤复材、分子筛、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纤维膜丝、粗糙度测试、四氧化三铁、M13-PBA等。
◆ 应用案例 Application Case

序号  | 名称  | 技术参数  | 
01  | 工作模式  | 接触模式、轻敲模式  | 
02  | 选配模式  | 摩擦力/侧向力、振幅/相位、磁力/静电力  | 
03  | 力谱曲线  | F-Z力曲线、RMS-Z曲线  | 
04  | XY扫描方式  | 样品驱动式扫描,闭环压电平移式扫描台  | 
05  | Z扫描方式  | 探针驱动式扫描  | 
06  | XY扫描范围  | 闭环100×100um  | 
07  | Z扫描范围  | 10um  | 
08  | 扫描分辨率  | 闭环XY向0.5nm,Z向0.05nm  | 
09  | XY样品台  | 步进电机驱动控制,移动精度1um  | 
10  | XY移动行程  | 100×100mm(可选200×200mm,300×300mm)  | 
11  | 样品载物台  | 直径100mm(可选200mm,300mm)  | 
12  | 样品重量  | ≤0.5Kg  | 
13  | Z升降台  | 步进电机驱动控制,很小步长10nm  | 
14  | Z升降行程  | 15mm(可选20mm,25mm)  | 
15  | 光学定位  | 10X光学物镜  | 
16  | 摄像头  | 500万像素数字CMOS  | 
17  | 扫描速率  | 0.6Hz~30Hz  | 
18  | 扫描角度  | 0~360°  | 
19  | 运行环境  | Windows XP/7/8/10操作系统  | 
20  | 通信接口  | USB2.0/3.0  | 
21  | 仪器结构  | 龙门架式扫描头,大理石底座  | 
22  | 减震方式  | 气浮式减震台+金属屏蔽隔音箱(可选主动式减震台)  | 

