原子力显微镜*大特点是对样品导电性无要求,且能在空气、液体、真空等多种环境下工作,适用范围极广。
一、固体材料表面形貌(核心应用)
成像分辨率可达原子级(水平0.1nm,垂直0.01nm)。
无机材料:硅片、金属薄膜、陶瓷、玻璃、晶体表面,可观察台阶、凹坑、晶粒、划痕等。
高分子聚合物:塑料、橡胶、涂层、胶带,观察相分离结构、微相形态、表面粗糙度。
半导体材料:晶圆缺陷、刻蚀图案、光刻胶结构,是半导体表征的关键工具。

二、纳米颗粒与纳米结构
AFM原子力显微镜可直接测量三维形貌(高度和宽度),而非SEM的二维投影。
碳纳米管、石墨烯、纳米金刚石等,可测直径、长度、团聚状态。
金纳米球、银纳米棒等金属纳米颗粒,可用于粒径分析。
三、生物与软物质样品(独特优势)
原子力显微镜可在生理溶液中成像,保持样品天然活性,这是SEM无法做到的。
细胞:活细胞或固定细胞,观察膜结构、骨架(需轻敲模式+液体槽)。
DNA、蛋白质、病毒:观察DNA构型、蛋白质聚集、病毒形貌,需吸附在云母片上。
生物膜、脂质双分子层:研究膜蛋白、相分离结构。
四、绝缘样品(与SEM互补)
SEM需喷金处理,而AFM原子力显微镜直接测量绝缘体,无需导电处理。适用于塑料、橡胶、纸张、陶瓷、玻璃、皮肤、头发等。
五、薄膜与涂层
通过制造台阶,可精确测量薄膜厚度(精度优于1nm),观察涂层裂纹、起泡、粗糙度。
六、特殊功能模式
模式 | 适用样品 |
C-AFM/KPFM(电学) | 导电/半导体样品,测纳米电导率、电势分布 |
MFM(磁学) | 铁磁性样品,如磁记录介质、磁性纳米颗粒 |
PeakForce QNM(力学) | 几乎所有固体/半固体,测硬度、弹性模量、粘附力 |
SThM(热学) | 导热/非导热样品,测表面温度分布 |
需避免的样品
起伏过大(>10μm):探针扫描范围有限,易撞针。
有强静电的样品:会吸附探针导致噪声甚至损坏。
直接液态样品:需吸附在平整基底上或使用液体池。
建议:如有明确样品,可联系厂家进行免费测样,用样机实际测试是判断是否适用的*直接方法。
